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uv固化机 陆芯精密划片机解说UVLED解胶机在晶圆芯片行业的应用及原理

发布时间:2022/12/23    浏览次数:

UVLED解胶机是用来解除UV胶膜和切割膜胶带之间粘结的全自动解胶设备。许多晶圆半导体行业在生产过程中,需要先把晶圆切片用划片胶固定起来,然后进行划片加工处理,最后通过UVLED光源对固定好的晶圆切片进行照射,使晶元切片上的UV胶膜发生硬化,从而降低与切割膜胶带之间的粘性,从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来,UVLED解胶机完美的解决了晶圆行业、玻璃制品和陶瓷切割上的解胶工序。

uv固化灯_uv固化机_uv固化涂料

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UVLED解胶机采用箱体式结构uv固化机,机器内部配有UVLED紫外光固化设备,可根据客户的使用需求,定制波段大小、照射面积、光照强度等参数。采用智能显示屏控制系统,可随意调节功率大小、照射时长,使用非常方便!同时UV脱胶机箱口采用手拉式结构,方便晶圆切片的放置和取出;另配有门禁感应装置,拉动箱口门把手时,UVLED光源设备会自动停止,避免紫外光源的外溢。

uv固化机_uv固化灯_uv固化涂料

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UVLED解胶机还有哪些优势之处呢?UVLED紫外光是单波段“冷光源”设备,被照射基材表面升温小,有效解决了晶圆行业在加工处理时产生的热损害现象。UVLED解胶机的光源设备使用寿命比较长,平均使用寿命大约在左右,远超传统UV汞灯的使用时长。UVLED光源是单波段紫外光,通过电能向光能的转换,光电转换有效率高,可有效节约电量的使用。不含“汞”污染,工作时不会产生臭氧,影响工作环境!

uv固化灯_uv固化涂料_uv固化机

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陆芯精密划片机于2022年3月24日下线了公司首台6寸晶圆尺寸的专用划片机:uv固化,目前已经开始接受全球预定。

此次陆芯推出的6寸专用精密划片机,在软件方面继承和优化了公司最新的软件技术,如:工件形状的识别和功能,更友好人机界面。由于机械结构和电子结构相对最先进的XL-6366要简单。所以,在设备后期的维护成本上会更低,这对于只需要用到6寸划片机的厂商来讲无疑是个巨大的福音,并且陆芯在设备的交货周期上,也比最先进的设备交期提前不少。


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